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无损检测半导体材料内部缺陷的方法和设备

810   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:56
公开了一种无损检测半导体材料(2)的内部缺陷的设备和方法。半导体材料(2)具有长度(L)、横截面区(Q)以及与所述长度(L)对齐的侧面(5)。超声波设备(10)被分配到所述半导体材料(2)。此外,设置在所述超声波设备(10)和半导体材料(2)的侧面(5)之间产生沿着半导体材料(2)的侧面(5)的长度(L)的相对运动的机构(9)。
声明：
“无损检测半导体材料内部缺陷的方法和设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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