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基于内聚力模型的无损检测薄膜粘附性的方法

947   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:55
本发明涉及一种基于内聚力模型的无损检测薄膜粘附性的方法，包括：利用界面之间的粘附力和界面相对位移的关系来表示薄膜和衬底间的粘附性，建立指数型内聚力模型的势函数来表征出薄膜与衬底间的粘附情况；利用上述指数型内聚力模型作为薄膜衬底结构中薄膜衬底界面单元的本构模型，建立考虑界面粘附性的有限元模型，该模型包含薄膜和衬底两部分，并在薄膜和衬底间添加内聚单元；对复合参数进行界面粘附性敏感性分析，确定关键参数；计算考虑薄膜与基底间粘附性时的超声表面波在分层结构中传播的理论频散曲线；获得表面波的实验频散曲线；得到薄膜粘附特性的测量值。本发明可以实现薄膜粘附性的定量表征。
声明：
“基于内聚力模型的无损检测薄膜粘附性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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