本发明涉及一种同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法,包括:通过激光激发待测样片的超声表面波试验,获得待测样片的实验频散曲线,得到不考虑粘附特性影响时的杨氏模量值,并将作为已知参量测量出样片的粘附特性。确定出杨氏模量及粘附特性的搜索范围及搜索步长。计算获得在搜索范围内的,以确定的搜索步长而确定出的一系列的由杨氏模量和粘附特性确定出的理论频散曲线,计算每一条理论频散曲线和实验频散曲线的R
2值,对于R
2值进行排序,R
2值最大的一条曲线既可被认为是匹配度最高的曲线,该曲线对应的杨氏模量值和粘附特性值即为待测薄膜的杨氏模量值及粘附特性值。
声明:
“同时检测薄膜粘附特性及杨氏模量的无损表征方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)