合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 无损检测技术

> 半导体掺杂层厚度无损检测方法

半导体掺杂层厚度无损检测方法

1222   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:42
本发明涉及一种外延层厚度无损检测方法,包括:获得外延层的掺杂浓度;获得反向偏置电压值V:使用探针与外延层接触,形成肖特基结,并对肖特基结施加逐步增大的反向偏置电压,记录下电流出现明显变化时的反向偏置电压值V;根据公式进行计算,得到d值即为外延层厚度。本发明所述外延层厚度无损检测方法,对于厚度在5微米以下的外延层,厚度检测精度为0.01微米,且最小的检测厚度为0.1微米,极大促进了外延层检测技术的拓展和准确性,具有高精度、无损检测的优势。
声明:
“半导体掺杂层厚度无损检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
无损检测
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四) 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 2025年锂电池行业十大变革性技术 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 原来他们都是中南大学杰出校友! 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记