一种检测表面与表面薄层内缺陷的光声光热无损
检测仪,主要由泵甫光源、声光调制器、三个光束位置探测器、样品架、探测光源、聚焦镜、锁定放大器、功率计和微机等所组成,泵甫光束垂直照射样品表面,探测光束分成与样品表面平行和成一定角度的两束,样品架有三个带台阶的孔可安放光声池和透明与非透明样品,后面有三个光束位置探测器分别探测透射、反射和掠射光热偏转光束。样品架转动可改换样品以进行不同方式的检测。
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