本实用新型提供一种排气管路,用于化学气相淀积设备,包括:歧管;第一管路,一端与所述歧管相连;以及第二管路,一端与所述歧管相连;其中,所述第二管路的一端具有一延伸部延伸至所述歧管内部,所述延伸部的末端接近所述歧管的出气口。所述第一管路内的气体与所述第二管路内的气体方向一致,而避免由于两股气体对冲而导致的气体回流现象,保证TiN薄膜的质量,且所述第二管路内的气体不会直接冲击压力表,压力表可准确测量出反应腔内的压力,并延长压力表的使用寿命。
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