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排气管路

852   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:39
本实用新型提供一种排气管路,用于化学气相淀积设备,包括:歧管;第一管路,一端与所述歧管相连;以及第二管路,一端与所述歧管相连;其中,所述第二管路的一端具有一延伸部延伸至所述歧管内部,所述延伸部的末端接近所述歧管的出气口。所述第一管路内的气体与所述第二管路内的气体方向一致,而避免由于两股气体对冲而导致的气体回流现象,保证TiN薄膜的质量,且所述第二管路内的气体不会直接冲击压力表,压力表可准确测量出反应腔内的压力,并延长压力表的使用寿命。
声明：
“排气管路” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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