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真空隔热的MEMS流量传感器

722   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:05
本实用新型公开了一种真空隔热的MEMS流量传感器,该流量传感器包括:衬底,设有真空密闭隔热腔体;第一介质层,形成于衬底的上表面;加热元件、感温元件及金属电极,形成于第一介质层的上表面,其中感温元件对称分布在加热元件的两侧,加热元件及感温元件局部位于隔热腔体的上方;第二介质层,覆盖加热元件、感温元件、金属电极及通孔,且局部刻蚀出接触孔。本实用新型的MEMS流量传感器利用低压力化学气相沉积法的“保形效应”形成真空密闭隔热腔体,一方面可提高隔热腔体的隔热性能,另一方面可减少被测流体与隔热腔体之间的对流热损失,从而有利于降低器件功耗,并增大上下游感温元件之间的温差,有效提高器件灵敏度。
声明:
“真空隔热的MEMS流量传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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