合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 清洁系统

清洁系统

980   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:04
一种清洁系统，包括至少一清洁模块，配置以在一化学机械研磨(CMP)制程之后接收一基板，并且使用一清洁溶液去除在基板上的多个污染物。清洁系统还包括一清洁溶液供给系统，配置以将清洁溶液供给到至少一清洁模块。清洁溶液供给系统包括至少一温度控制系统。至少一温度控制系统包括：一加热装置，配置以加热清洁溶液、一冷却装置，配置以冷却清洁溶液、一温度感应器，配置以监测清洁溶液的一温度、以及一温度控制器，配置以控制加热装置及冷却装置。
声明：
“清洁系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：基于边缘智能的能源互联网新能源消纳能力评估方法
下一个：用于监控气体传感器的方法

与 “清洁系统” 相关技术

▪ 钢铁烟尘及有色金属冶炼渣资源化清洁利用新技术
▪ 镍基合金表面改性的渗剂及使用方法
▪ 硫化氢沉淀法应用于污酸处理新工艺
▪ 微细粒红磁混合型铁矿选矿技术
▪ 绿脉SGA砂状化与提产技术
▪ 提高氧化铝循环效率技术
▪ 冶金工业烟气脱硝脱二噁英技术
▪ 南方离子型稀土绿色高效分离关键技术
▪ 射频等离子体球化制粉技术
▪ 高端金属及化合物球形粉体等离子制备技术

相关化学分析设备推荐

原位纳米压痕仪
土壤采样器
高精度土壤重金属检测仪FZS300
CS-320型 红外碳硫分析仪
泵吸五合一多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钢铁烟尘及有色金属冶炼渣资源化清洁利用新技术
▪镍基合金表面改性的渗剂及使用方法
▪硫化氢沉淀法应用于污酸处理新工艺
▪微细粒红磁混合型铁矿选矿技术
▪绿脉SGA砂状化与提产技术
▪提高氧化铝循环效率技术
▪冶金工业烟气脱硝脱二噁英技术
▪南方离子型稀土绿色高效分离关键技术
▪射频等离子体球化制粉技术
▪高端金属及化合物球形粉体等离子制备技术

报名参会
更多+

2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
第三届全国先进功能材料制备/加工及应用技术交流会
2024年08月16日 ~ 18日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记