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在光盘表面沉积耐酸碱类金刚石薄膜的装置和方法

1123   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:04
本发明涉及光盘表面覆膜方法,在光盘上沉积耐酸碱类金刚石薄膜的方法,利用中低频介质阻挡高压放电,使用小分子碳氢气体,在较低气压条件下,以光盘作为沉积基底,在光盘表面沉积超硬类金刚石薄膜。本发明利用介质阻挡放电等离子体沉积薄膜,具有其独特的优势:如放电方式简单,能耗低,气体流量低,可实现在绝缘介质上沉积。薄膜对于光驱工作读写激光波长在蓝光和红光均具有>90%以上透过性。对于镀膜后的光盘进行读写测试,发现薄膜对于光盘正常工作不产生任何影响。本发明有效的提高光盘表面的化学稳定性和机械性能,镀膜后的光盘具有很好的耐酸碱特性。
声明：
“在光盘表面沉积耐酸碱类金刚石薄膜的装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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