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用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法

879   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 08:57:04
本申请涉及用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法。化学机械抛光组合物包含磨料、第一去除速率增强剂和水，其中当使用0.2μm的面元尺寸测量时，抛光组合物对于以下关系具有小于800000的值：大颗粒计数/磨料重量百分比。
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“用于减少缺陷的抛光组合物及其使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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