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制备氧化铁烟敏薄膜的方法

933   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:03
本发明涉及一种气敏传感技术领域，特别是一种 制备氧化铁烟敏薄膜的方法。该方法采用金属有机 化合物五羰基铁[Fe(CO)]5作为反应源物质，采用常 压化学气相淀积法进行淀积，分别制备出掺杂和非掺 杂氧化铁烟敏薄膜。该薄膜在烟雾I级的浓度下，灵 敏度可达52，而在1000ppm的酒精、液化石油气，甲 烷气体和氢气的灵敏度仅为7.4、2.7、2.7和4.0，其灵 敏度高，选择性好，响应恢复时间快等特点均优于已 商品化的离子敏感烟探测器和烧结型气敏元件，具有 广泛的应用前景。
声明：
“制备氧化铁烟敏薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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