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高纯度六氯化钨及其制备方法

667   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:03
可冷凝金属卤化物材料(例如但不限于钨氯化物(WCl6))可用于在化学气相沉积(CVD)或原子层沉积工艺中沉积金属膜或含金属膜。本文描述了包含可冷凝材料的高纯度组合物和纯化可冷凝材料的方法。在一个方面，提供了一种组合物，其包含：基本上没有至少一种杂质的六氯化钨，其中如通过X射线衍射测量的，该六氯化钨包含至少90重量％、优选95重量％和更优选99重量％或更多的β?WCl6及5重量％或更少的α?WCl6。
声明：
“高纯度六氯化钨及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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