本发明涉及沉积于基材上的纳米结构多孔氟氧化物膜、其制备方法以及不同应用。所述氟氧化物具有多孔的半结晶型结构且在80%以下的相对湿度下在可见光区测量的折光指数为1.08-1.25。其化学组成对应于式:(Mg(1-x)Cax)(1-y)MyF(2+(n-2)y-2z-t)Oz(OH)tM’w,其中n为M的化合价,为1-4;M代表至少一种选自Al、Si、Ge和Ga的元素;M’代表至少一种选自Co、Cr、Ni、Fe、Cu、Sb、Ag、Pd、Cd、Au、Sn、Pb、Ce、Nd、Pr、Eu、Yb、Tb、Dy、Er和Gd的元素;并且0≤w<0.1,0≤x≤1,0≤y≤0.5,z<1,z+t>0和t<2。
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