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氧化铝陶瓷基片表面加工方法

1095   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:03
本发明是一种氧化铝陶瓷基片表面加工方法，该方法包括基片的固定和粘贴，将基片和辅助二氧化硅薄片共同粘贴在陶瓷承载盘上；基片的磨削加工，砂轮以中间进给方式磨削基片去除材料；基片的研磨加工，采用固着磨料，去除磨削留下的砂轮印；基片的高速抛光，采用固着抛光丸片对基片进行高速抛光；基片的化学机械抛光，采用纳米二氧化硅抛光液进行抛光；基片的拆卸，基片正面加工完成后，将基片从陶瓷承载盘上拆卸下；基片的翻面固定，融化石蜡，将基片翻面同正面一样固定；基片的反面减薄，将基片最厚位置厚度加工至要求的上限值之上的一个值，通过研磨‑测量‑研磨循环步骤精确控制基片的厚度。本发明方法加工时间短、成品率高、成本低。
声明：
“氧化铝陶瓷基片表面加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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