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柔性压电应力传感器的制备方法及其产品

902   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:57:02
本发明属于柔性压电应力传感器相关技术领域，并公开了一种柔性压电应力传感器的制备方法，包括：在基体上蒸镀银电极制备得到底电极；压电层是溶液旋涂方法得到的二甲基硅氧烷包覆10～30wt.％压电纳米片，压电纳米片由化学合成方法制备钇掺杂的氧化锌构成；在压电层表面蒸镀形成顶电极，同时形成三明治构造体；将三明治构造体从玻璃基体上剥离下来，用微米级的铜线将上下电极引出，最后通过PET薄膜将电极封装得到柔性压电薄膜传感器。本发明还公开了相应的产品。通过本发明，提供了一种新型的制备路线，同时具有柔性好、结构简单、稳定性好、灵敏度高等优点，因而尤其适用于人体健康监测、仿生机器人等领域。
声明：
“柔性压电应力传感器的制备方法及其产品” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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