本发明涉及一种适用于原子力显微镜(AFM)的金属探针制备方法,具备成本低、成功率高、针尖用途广泛等优点。制作的主要步骤:第一,
电化学刻蚀金属丝,获得末端尖锐的针尖;第二,采用硅片或多晶蓝宝石片压平靠近针尖末端的金属丝,压平的部分将作为AFM探针的悬臂;第三,将针尖末端弯折一定角度,弯折的部分将作为AFM探针的针尖;第四,用胶水将悬臂粘接到特定的基片上。这种方法可以制作金、银等多种材料的金属探针,末端尖锐,导电性能好,适用于AFM、基于AFM的各种电学测量技术(比如静电力显微镜)以及基于AFM的针尖增强拉曼光谱技术等。
声明:
“适用于原子力显微镜的金属探针制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)