本发明公开了一种超纯无硼氨水的制备方法,包括依次且连续进行的如下步骤:(1)汽化;(2)净化过滤;(3)树脂吸附;(4)多级吸收;(5)除硼工艺;(6)超滤。上述方法所得的超纯无硼氨水中,大于等于0.5μm颗粒浓度小于3p/ml,大于等于0.2μm颗粒浓度小于30?p/ml,硼元素含量100PPT,单项金属离子含量小于30ppt,实测小于20ppt。本发明一种超纯无硼氨水的制备方法,工艺流程简单,容易实现,其通过硼特效树脂进行多级除硼操作,有效去除氨水中的硼元素,且该制备方法所用设备少,易于操作,生产成本低,为无硼化学品的开发奠定了基础。
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