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电光装置的制造方法，以及电光装置

918   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:59
本申请一种用于制造电光装置，特别是制造光电探测器(6)或电光调制器(6)的方法，其中设置波导(3)(S1)，优选地通过施加涂层材料的步骤，制造在所述波导(3)的至少一部分上方延伸的平坦化涂层(7)(S2)，所述平坦化涂层(7)设有旋涂玻璃涂层(9)(S3)，至少在所述旋涂玻璃涂层(9)的区域中，优选地进行干化学蚀刻处理，可选地，将提供具有旋涂玻璃涂层(9)的平坦化涂层(7)和蚀刻处理的步骤重复至少一次(S5、S6)，并且在平坦化涂层(7)上或上方和在波导(3)上方设置有源元件(10)(S7)，所述有源元件(10)包括至少一种材料或由至少一种材料组成，所述材料吸收至少一种波长的电磁辐射，并且由于吸收和/或材料的折射率随电压和/或电荷和/或电场的存在的变化而变化，所述材料产生电光信号。
声明：
“电光装置的制造方法，以及电光装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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