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蓝宝石抛光工艺

701   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:58
本发明公开了一种蓝宝石抛光工艺，包括如下步骤：原料预处理、精磨、抛光、清洗和测试等，该蓝宝石抛光工艺，该蓝宝石抛光工艺，通过原料预处理和精磨工艺将原料表面经行研磨，降低抛光时的难度，节约抛光时间，通过使用由三氧化二铝制成抛光液硬度高，且在与蓝宝石摩擦过程中产生化学反应从而使CMP有效进行，稳定性高，成本低，通过FA/O复合活性剂增加抛光液的稳定性，提高抛光表面的平整性和工作效率，通过实验，在压力为4psi、转速为60rpm/min和pH值为10时，抛去的去除速率为6um/hr，当压力值为5psi、转速为60rpm/min和pH值为10时，抛去的去除速率为8um/hr，本发明的工艺流程简单，且同时节约成本，值得以后推广。
声明：
“蓝宝石抛光工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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