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柔性薄膜热电堆及其制备方法

743   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:57
本发明涉及一种柔性薄膜热电堆及其制备方法，所述热电堆包括：聚酰亚胺（Polyimide，简写为PI）薄膜衬底，衬底的一面设置有第一热电极，另一面设置有第二热电极，同时衬底上包含有数个通孔用于连接第一热电极与第二热电极，从而形成热电堆。本发明还公开了该热电堆的制备方法，包括利用化学溶液法在聚酰亚胺薄膜的两面原位生长金属，分别制得银薄膜与镍薄膜，再利用激光直写方法对银薄膜和镍薄膜进行图形化处理，图形化后的热电极经通孔连接形成热电堆，该热电堆不仅制备流程简单，且尺寸小成本低，有较高的灵敏度以及快速响应等优点，可实现冷热端温度的实时监测，具有高性价比和实用性。
声明：
“柔性薄膜热电堆及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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