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薄膜晶体管及其制作方法

637   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:57
本发明公开了一种薄膜晶体管及其制作方法，该薄膜晶体管的栅极是具有立体结构的导电材料，沿着与其长度方向平行的中心轴线，该导电材料呈中心轴对称结构；该导电材料的一端作为栅极接触部分，其余部分的外围包覆着栅极介质层，栅极介质层外围包覆着导电沟道层，源极和漏极分别设置在导电沟道层外围。与现有的平面型薄膜晶体管相比，本发明提供的薄膜晶体管呈立体包覆结构，具有成本低廉、制作简单、携带方便、操作灵活的优点，能够直接用于气体、液体化学物质和生物材料等的探测和鉴别，具有良好的应用前景。
声明：
“薄膜晶体管及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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