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原子层沉积设备及其制备电池催化剂的方法

1109   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:57
本发明涉及原子层沉积领域，具体是一种原子层沉积设备，包括等离子体发生器，所述等离子体发生器上端设有管道，等离子体发生器下端通过连接管道连接有反应腔，反应腔顶部设有支撑架，反应腔左侧安装有进源管道。本发明原子层沉积设备结构简单，易操作；同时利用本发明原子层沉积设备制备直接甲醇燃料电池阳极催化剂的方法，高效、易实现，制备出产品具有高比表面积、优异催化性能的优点。进而解决了直接用氧化石墨烯做载体，电池的电化学性能测试并不能达到理想效果的问题。
声明：
“原子层沉积设备及其制备电池催化剂的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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