本发明涉及CoSb3热电材料,特指一种CoSb3纳米颗粒薄膜的制备方法。首先按摩尔比1:3称量CoCl2·6H2O粉末和Sb粉末,分别装入各自坩埚中,并将坩埚和载玻片衬底置入石英管内;石英管置入水平管式炉内,多次抽真空和通入95%的氩气和5%的氢气的混合气,排除石英管内的氧气;管式炉升温,低压状态下,在载玻片衬底上化学气相沉积得到CoSb3纳米颗粒薄膜;测试其Seebeck系数、电导率以及热导率,计算其ZT值。本发明一步合成CoSb3纳米颗粒薄膜,工艺简单,所制备的CoSb3纳米颗粒直径在200-400nm,具有良好的导电率和较低的热导率,可直接用于热电研究,有望用于新型高效热电转换器件。
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