合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 用于射频横向扩散场效应晶体管的自对准硅化物方法

用于射频横向扩散场效应晶体管的自对准硅化物方法

963   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:57
一种用于射频横向扩散场效应晶体管的自对准硅化物方法,包括如下步骤:在硅片上,多晶栅刻蚀成形后进行无掩膜的漂移区注入;用正硅酸乙酯热分解法淀积一薄层二氧化硅;以光刻胶保护漂移区,回刻二氧化硅,在栅极靠近源测形成二氧化硅侧墙;源漏自对准注入并去胶;快速热退火,以消除注入损伤和激活杂质;分别以正硅酸乙酯热分解法淀积一薄层衬垫二氧化硅和低压化学气相淀积法淀积一层氮化硅;依次回刻氮化硅、二氧化硅,在二氧化硅一次侧墙基础上形成氮化硅二次侧墙;溅射一薄层钛;快速热退火,让钛与硅反应形成钛硅化物;选择性湿法腐蚀去除未反应的钛;快速热退火,让高阻态的钛硅化物转化为低阻态的钛硅化物。
声明：
“用于射频横向扩散场效应晶体管的自对准硅化物方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：掺杂改性磷酸亚铁锂及其制备方法
下一个：硫代DCK类似物其合成方法及其应用

与 “用于射频横向扩散场效应晶体管的自对准硅化物方法” 相关技术

▪ 提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统
▪ 矿山开采碎石设备
▪ 矿山机械设备安装的吊装机构
▪ 危废铝灰处理工艺
▪ 辊底式淬火炉淬火水痕控制方法
▪ 铝合金板带材及其制备方法
▪ 铝液在线除杂除气装置
▪ 2025首期Nature：硅基半导体新技术！
▪ 南京大学张晔课题组Adv.Mater.：新型凝胶材料：金属凝胶
▪ 污水处理磁絮凝沉淀技术

相关化学分析设备推荐

iCR1580离子色谱仪
德国STEPS 土壤电导率及活度一体测量仪PNT3000 COMBI +
日本新宇宙现货302M复合型气体检测器 多气体检测仪
IST便携式多气体检测仪 H2S/CH4/NH3 美国
多用途沉积物原状采样器库号M288566
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统
▪矿山开采碎石设备
▪矿山机械设备安装的吊装机构
▪危废铝灰处理工艺
▪辊底式淬火炉淬火水痕控制方法
▪铝合金板带材及其制备方法
▪铝液在线除杂除气装置
▪2025首期Nature：硅基半导体新技术！
▪南京大学张晔课题组Adv.Mater.：新型凝胶材料：金属凝胶
▪污水处理磁絮凝沉淀技术

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记