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空间分辨的光诱导增材制造方法

735   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:56
本发明涉及一种空间分辨的光诱导增材制造方法，包括以下步骤：步骤1：首先沉积光和指引光通过准直透镜组；步骤2：通过二向色镜后再由聚焦透镜组射入匀光模组的入射端面；步骤3：通过匀光模组后的光线再次通过准直透镜组，步骤4：准直光通过反射镜反射至第一分光片，并由第一分光片将一部分分光反射至光掩模板上；步骤5：反射的光将带有光掩模板上的信息；步骤6：光诱导化学气相沉积的反应前驱体通过进气口进入，在沉积光照射部分，反应物发生热解反应或光解反应，从而在样品基底沉积成膜，实现了信息的转移；步骤7：对样品进行实时成像观测。本发明改变了传统的空间分辨的增材制造工艺流程，能有效地提高空间分辨的增材制造效率。
声明：
“空间分辨的光诱导增材制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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