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空间分辨的光诱导增材制造方法

726   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:56
本发明涉及一种空间分辨的光诱导增材制造方法,包括以下步骤:步骤1:首先沉积光和指引光通过准直透镜组;步骤2:通过二向色镜后再由聚焦透镜组射入匀光模组的入射端面;步骤3:通过匀光模组后的光线再次通过准直透镜组,步骤4:准直光通过反射镜反射至第一分光片,并由第一分光片将一部分分光反射至光掩模板上;步骤5:反射的光将带有光掩模板上的信息;步骤6:光诱导化学气相沉积的反应前驱体通过进气口进入,在沉积光照射部分,反应物发生热解反应或光解反应,从而在样品基底沉积成膜,实现了信息的转移;步骤7:对样品进行实时成像观测。本发明改变了传统的空间分辨的增材制造工艺流程,能有效地提高空间分辨的增材制造效率。
声明:
“空间分辨的光诱导增材制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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