本发明涉及一种空间分辨的光诱导增材制造方法,包括以下步骤:步骤1:首先沉积光和指引光通过准直透镜组;步骤2:通过二向色镜后再由聚焦透镜组射入匀光模组的入射端面;步骤3:通过匀光模组后的光线再次通过准直透镜组,步骤4:准直光通过反射镜反射至第一分光片,并由第一分光片将一部分分光反射至光掩模板上;步骤5:反射的光将带有光掩模板上的信息;步骤6:光诱导化学气相沉积的反应前驱体通过进气口进入,在沉积光照射部分,反应物发生热解反应或光解反应,从而在样品基底沉积成膜,实现了信息的转移;步骤7:对样品进行实时成像观测。本发明改变了传统的空间分辨的增材制造工艺流程,能有效地提高空间分辨的增材制造效率。
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