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功率器件的制造方法

592   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:55
本发明提供一种功率器件的制造方法，提供一形成有IGBT元胞结构的晶圆，IGBT元胞结构包括在形成ILD层之前在晶圆表面形成的氮化硅层；在晶圆的正面形成金属电极；对晶圆的背面进行Taiko减薄；在晶圆的背面进行离子注入并退火形成集电区；利用化学镀工艺在金属电极上镀上目标金属；在晶圆背面形成背面金属层；进行芯片测试；去除晶圆背面的Taiko环。本发明通过在形成ILD层之前在晶圆表面形成氮化硅层，使得晶圆背面形成的Taiko环有氮化硅层保护，解决了IGBT化镀工艺导致背面金属脱落的问题，避免了造成晶圆碎片或机台沾污。
声明：
“功率器件的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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