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光产酸剂

858   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:52
本发明提供在光固化性组合物、化学增幅型负型光致抗蚀剂组合物中有用的光产酸剂，其是对这些组合物的耐黄变性有用的有用的光产酸剂。本发明的光产酸剂的特征在于，其含有下述通式(1)所表示的锍盐(CA)和通式(2)所表示的化合物(S)，在设利用高效液相色谱(HPLC)测定锍盐(CA)和化合物(S)的总量时的锍盐(CA)和化合物(S)的总面积为100时，化合物(S)的面积比为0.02以上3.0以下。
声明：
“光产酸剂” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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