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生长可控的稀土钕掺杂二硒化钼薄膜材料制备方法

789   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:52
本发明涉及一种钕掺杂二维层状二硒化钼薄膜材料的制备方法,包括以下步骤:首先通过高纯原料钼、硒、钕的化学气相输运反应,制得钕掺杂二硒化钼的多晶体;接着通过压制及烧结,制得钕掺杂二硒化钼的陶瓷靶;将陶瓷靶和清洗过的衬底置入真空腔,通过脉冲激光轰击所制备的陶瓷靶,控制频率、时间、功率等因素,获得不同层数、形貌均匀、面积连续的超薄钕掺杂二硒化钼薄膜光电材料。所制备的材料在近红外区域具有发射光谱,可被用于构筑原子级超薄的光电子器件,如电致发光器件、平板波导、探测器等。
声明:
“生长可控的稀土钕掺杂二硒化钼薄膜材料制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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