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扩散后不良片的单独返工方法

986   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
一种扩散后不良片的单独返工方法，步骤包括：将返工片经纯水清洗、碱槽清洗、纯水清洗、混酸槽清洗、纯水清洗、硅片表面的水烘干，流入扩散工序重新扩散，然后清洗去PSGPECVD镀膜，丝网印刷及高温炉烧结，最后分选测试即可。本发明不需要重新制绒，能保证小绒面，有效解决亮花纹片的出现，确保成品电池片的外观及效率；此专利本质上是对不良片的一个分类处理，之前所有的返工片都会制绒，为保证硅片上的脏污清洗掉，高方阻不良片不存在外观污染的问题，所以不需要制绒，且有效降低化学品用量。
声明：
“扩散后不良片的单独返工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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