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取代GPP工艺的新芯片的制备方法

1036   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本发明公开了一种取代GPP工艺的新芯片的制备方法,经过扩散、一次匀胶、切割、蚀刻、一次去光刻胶、清洗、匀PI胶、PI胶预固化、二次匀胶、光刻、去除PI胶、二次去光刻胶、PI胶固化、点测、划片和裂片工序,完成取代GPP工艺的新芯片的制备;本发明制备得到的产品替换玻璃钝化保护的GPP芯片,其具有很低的漏电流、较强的机械性能以及耐化学腐蚀性能,同时,PI胶在扩散片表面形成的PI膜可以有效的阻挡潮气,增加器件抗潮湿能力,改善了芯片电学性能,提高了芯片可靠性,而且本发明制备工艺简单,生产成本低,热处理温度及能耗低。
声明:
“取代GPP工艺的新芯片的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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