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深紫外平面光波导制作方法

1062   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本发明属于光信号处理器件技术领域，涉及一种深紫外平面光波导制作方法，工艺过程包括制备基底层、制备芯层、制备保护层和制备上包层共四个步骤，材质为二氧化硅的基底层能够减少热应力，掺杂硼和磷的芯层和上包层对深紫外波段光的吸收量少，同时能够提高光波导的折射率，材质为二氧化硅的保护层能够防止芯层与上包层的互溶，基底层、芯层、保护层和上包层构成横截面为矩形结构的掺杂硼和磷的石英异质波导可以应用在深紫外波段，对生物与化学传感、医疗卫生、食品安全、海洋探测等领域的发展有重要意义；其光波导的结构和制作方法工艺简单，既能提高折射率，又能降低深紫外光的传输损耗，能够作为各种光器件的制造原材料。
声明：
“深紫外平面光波导制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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