合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 降低半导体设备工艺腔室内金属污染的方法

降低半导体设备工艺腔室内金属污染的方法

724   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本发明公开一种降低半导体设备工艺腔室内金属污染的方法，该包括在工艺腔室的内壁形成介质层的步骤，其中形成介质层的步骤包括：向工艺腔室中通入第一气体和第二气体，并使第一气体和第二气体电离形成等离子体并发生化学反应，以在工艺腔室的内壁上沉积形成不含金属元素的介质层。本发明在工艺腔室的内壁形成介质层，从而起到保护晶圆的作用，使其不会被金属所污染，从而保证了金属污染测试的通过率，进而节省大量的机台闲置时间，提高机台产能，增加了晶圆上芯片元器件的可靠性，提升器件良率。
声明：
“降低半导体设备工艺腔室内金属污染的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：高压电性能铌酸钾钠基陶瓷及其制备方法
下一个：掺锂高熵氧化物电池负极材料及其制备和应用方法

与 “降低半导体设备工艺腔室内金属污染的方法” 相关技术

▪ 多金属低品位锡矿选矿工艺
▪ 钛金属返回屑料纯净化处理装置及处理方法
▪ 废物处理用磁选装置
▪ 电池外壳及其制备方法和二次电池
▪ 用于矿石的立式磨粉机
▪ 真空感应熔炼炉腔体密封门
▪ 高强韧纳米TiB2增强铝锂基复合材料的制备方法
▪ 钴掺杂镍钼铝合金电极及其制备方法
▪ 举升卸料方法、装置、设备以及无人驾驶矿车
▪ 极薄矿脉井下先贫化预分选水力提升绿色采矿方法

相关化学分析设备推荐

土壤水分速测仪
可燃气体浓度检测仪
手持式丙烷检测仪ES500-C3H8
土壤养分速测仪价格
英思科VentisMX4多气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪多金属低品位锡矿选矿工艺
▪钛金属返回屑料纯净化处理装置及处理方法
▪废物处理用磁选装置
▪电池外壳及其制备方法和二次电池
▪用于矿石的立式磨粉机
▪真空感应熔炼炉腔体密封门
▪高强韧纳米TiB2增强铝锂基复合材料的制备方法
▪钴掺杂镍钼铝合金电极及其制备方法
▪举升卸料方法、装置、设备以及无人驾驶矿车
▪极薄矿脉井下先贫化预分选水力提升绿色采矿方法

报名参会
更多+

2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024年12月20日 ~ 22日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:123
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:98
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
10 制样室装修设计技巧
下载:83
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记