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形貌参数可控的微纳探针批量制备装置及方法

711   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本发明公开了一种形貌参数可控的微纳探针批量制备装置，机械装置部分包括z轴电机模组、x轴电机模组、电解反应模块、电解反应槽、清洗槽、绝缘处理槽、多通道微探针夹持模组；控制器包括微处理器、步进电机驱动器、步进电机细分驱动器、动态细分控制器、电解控制模块、多通道DA转换器、人机交互控制器。本发明兼顾了电机运动的速度和精度，能够让电机在长距离快速运动和短距离高精度移动；采用工序转移模组和工艺平台分立移动设计，单次能够完成多根微纳探针的制备；并提高了控制精度，具有高效、高成品率和易用性特点。本发明还设计了一种电压预测控制算法，实现了对电化学腐蚀法制备微纳探针中回路电流切断时间的控制。
声明：
“形貌参数可控的微纳探针批量制备装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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