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宽波段薄膜高吸收体、制备方法及装置

763   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本发明公开了一种可见到近红外波段高效光吸收体、制备方法及装置，该吸收体包括衬底和在衬底上依次沉积的金属薄膜层、电介质薄膜层和氮化钛薄膜层，所述氮化钛薄膜层表面为经过激光处理的颗粒表层。本发明利用飞秒激光照射金属‑电介质‑氮化钛薄膜，可诱导与空气接触的氮化钛薄膜层的化学反应，产生氧化物颗粒的堆积，形成粒径(几十到几百纳米)随机分布的氧化钛颗粒。本发明采用的氮化钛薄膜具有价格便宜、损伤阈值高等优点。利用激光处理表面形成自组织微纳结构具有偏振不敏感，制造工艺简单，可在任意指定位置快速制备任意形状的高吸收体等优点。本发明在太阳能收集、光催化增强、超快光电探测器件等领域具有广泛的商用前景。
声明：
“宽波段薄膜高吸收体、制备方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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