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石墨烯薄膜触控面板的制造方法

1095   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
石墨烯薄膜触控面板的制造方法，包括：通过化学气相沉积制程使石墨烯薄膜生长于催化剂金属上，再转印石墨烯薄膜于基板上；在石墨烯薄膜上形成图形化光罩；以强氧化剂接触石墨烯薄膜未被光罩遮蔽的第一区域，以改变第一区域的官能基状态，使第一区域形成绝缘体，石墨烯薄膜的第一区域以外的第二区域形成X或Y感测线路的图案；以及去除光罩。藉由免蚀刻方式将石墨烯应用于触控面板使石墨烯薄膜材料经强氧化剂反应后的物理结构依旧保持连续完整，本发明具有使电性图形化但物理结构连续化的石墨烯薄膜进行转印制程时不易破裂，以有效提高转印制程的合格率。
声明：
“石墨烯薄膜触控面板的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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