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优化晶体硅太阳能电池PN结的方法

697   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:51
本发明公开了一种优化晶体硅太阳能电池PN结的方法,步骤如下:扩散;酸溶液对PN结腐蚀:将扩散后的硅片置于化学清洗机台中,采用HNO3、HF和DI水的混合溶液对硅片进行腐蚀,所述HNO3∶HF∶DI水的体积比为10∶1∶100, 反应时间为20~60s;PN结碱溶液处理 : 由于酸性腐蚀液对硅片进行酸性腐蚀时,表面会产生薄多孔硅层,需采用KOH和DI水的混合溶液对其清洗,所述KOH∶DI水的体积比为5∶100, 反应时间为20~60s;清洗;刻蚀;PECVD;丝网印刷;烧结测试。本发明在减反射层上叠加了透明导电膜层,能使复合膜层的减反射效果更佳,提升太阳电池的短路电流,提高电池效率。
声明:
“优化晶体硅太阳能电池PN结的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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