本实用新型公开了一种并行光纤收发模块,它包括一个激光器阵列、一个光探测器阵列、一个驱动电路板和一个二维光纤阵列,激光器阵列和光探测器阵列在驱动电路板上贴装成两列,分别与光纤阵列中的两列光纤对准耦合,并以胶水固定,二维光纤阵列基于一个双面刻蚀的定位基片制作,本实用新型产生的有益效果是:通过微电子工艺中的双面曝光技术,在一片石英玻璃的两面制作掩模图形,然后通过化学腐蚀工艺刻蚀出高精度的光纤定位槽阵列。微电子工艺中的双面曝光光刻机,可以保证同一面中掩模图形具有较高的定位精度,满足并行光纤收发模块中的技术要求。
声明:
“并行光纤收发模块” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)