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12寸晶元去气泡抽真空烤箱

709   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:37
本实用新型公开了一种12寸晶元去气泡抽真空烤箱，包括箱体，所述箱体前侧设有单扇门，所述单扇门一侧设有控制箱，所述控制箱上设有操作面板，所述操作箱上设有显示屏。本实用新型通过采用不锈钢材料的工作室，便于清洁卫生，使用空间大，采用硅橡胶材料制成的密封条，人性化的环保意识，保护使用人员的身体健康，设有进气电磁阀和手动调压阀气路辅助装置，同时利用抽气管进行氮气填充，利用氮气不活泼的化学性质，提升了使用时的安全性，通过采用数字式的电阻真空计配合压力传感器，利用工作室内气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化，从而提高了测量精度。
声明：
“12寸晶元去气泡抽真空烤箱” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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