合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 集成电路和半导体装置制造方法、隔绝区域阶高控制方法

集成电路和半导体装置制造方法、隔绝区域阶高控制方法

884   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明提供一种集成电路和半导体装置制造方法、隔绝区域阶高控制方法,其隔绝区域的阶高之间具有较佳的一致性。集成电路的制造方法包括提供一基板,其具有一个或多个沟槽;填充上述一个或多个沟槽;对已填充的一个或多个上述沟槽进行一化学机械研磨工艺,其中一个或多个上述沟槽中的每一个包括一厚度;测量已填充的一个或多个上述沟槽中的每一个的上述厚度;根据已填充的一个或多个上述沟槽中的每一个的已测量的上述厚度决定进行一蚀刻工艺的一总时间。以已决定的上述总时间进行上述蚀刻工艺。本发明提供优点:改善元件的整体性能;提供更好的关键尺寸一致性;提升对工艺变异的控制,特别是阶高的变异;以及易于与公知工艺整合。
声明：
“集成电路和半导体装置制造方法、隔绝区域阶高控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：旋转环-盘电极
下一个：电池仓的降温灭火系统及方法

与 “集成电路和半导体装置制造方法、隔绝区域阶高控制方法” 相关技术

▪ 提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统
▪ 矿山开采碎石设备
▪ 矿山机械设备安装的吊装机构
▪ 危废铝灰处理工艺
▪ 辊底式淬火炉淬火水痕控制方法
▪ 铝合金板带材及其制备方法
▪ 铝液在线除杂除气装置
▪ 2025首期Nature：硅基半导体新技术！
▪ 南京大学张晔课题组Adv.Mater.：新型凝胶材料：金属凝胶
▪ 污水处理磁絮凝沉淀技术

相关化学分析设备推荐

MPKit土壤水分速测仪
抗磕碰一氧化碳报警仪
土壤速测仪
便携式土壤水分/温度/电导率速测仪
博势Proceq PaperSchmidt 纸卷分析回弹仪，纸卷硬度计
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪提升矿山生态修复区固碳增汇能力的系统
▪矿山开采碎石设备
▪矿山机械设备安装的吊装机构
▪危废铝灰处理工艺
▪辊底式淬火炉淬火水痕控制方法
▪铝合金板带材及其制备方法
▪铝液在线除杂除气装置
▪2025首期Nature：硅基半导体新技术！
▪南京大学张晔课题组Adv.Mater.：新型凝胶材料：金属凝胶
▪污水处理磁絮凝沉淀技术

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记