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微米粒径有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备装置及方法

873   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
一种微米粒径有机无机杂化钙钛矿薄膜的制备装置，包括真空腔体、上热台、下热台、真空泵和电学测量装置，真空腔体设有抽气接口和接线接口，上热台和下热台相互平行设置于真空腔体下部并通过支撑板与真空腔体底部固定，真空泵利用抽气接口通过真空管道及阀门与真空腔体连通，电学测量装置利用接线接口通过导线与下热台上的ITO玻璃片上沟道的两端连接；利用该装置，采用低真空度下相互平行热台进行的低压化学气相沉积法工艺制备有机无机杂化钙钛矿薄膜。本发明的优点是：该制备方法提高了蒸气分子流的向基板方向输运的均匀度，制备的薄膜均匀度高、粒径大，进程可控，提高了生成薄膜的光电性能，适合大规模及柔性薄膜的生产。
声明：
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