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基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪及其加工方法

853   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明公开一种基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪及其加工方法，基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪包括玻璃衬底、支撑结构、双质量块微谐振器和玻璃盖帽，玻璃衬底、支撑结构和玻璃盖帽由下至上依次连接形成空腔结构，双质量块微谐振器设在支撑结构内；双质量块微谐振器包括两组质量块、驱动框架、解耦梁和可动光栅，可动光栅设在质量块中心部，驱动框架设在质量块四周，解耦梁设在质量块外周四个拐角处，每个可动光栅正下方的支撑结构底部均设有固定光栅；玻璃盖帽上对应驱动框架位置均匀设有电极通孔，每个电极通孔内均设有与驱动框架相接的金属焊盘。本发明具有质量小、测量精度高、不受电磁干扰和便于批量生产优点，应用范围广，有着良好的市场前景。
声明：
“基于双层纳米光栅的微纳陀螺仪及其加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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