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新型热驱动微型执行器

1026   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明涉及微机器人技术在细胞操作和分离方面的应用技术,具体地说是一种基于Parylene C聚合材料、可实现液体环境中细胞操作的新型热驱动微执行器;为固定在硅基底上的多悬臂梁结构,每个悬臂梁为parylene C夹持电阻材料的三层结构。其加工工艺采用MEMS平面印刷技术。本发明具有可电热制动效果,parylene C作为热/电/化学隔离材料,可使电阻材料构成的加热器不暴露在液体里,因而具有良好的生物适用性和液体环境适应性;可以在控制温度的方式下实现对细胞的操作和分离,可为细胞的定位探测、注射和测量提供自动化操作应用。
声明：
“新型热驱动微型执行器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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