本发明涉及氧化钛纳米管阵列结构应用,具体为一种具有优异低温氧气传感 特性的无定型氧化钛纳米管阵列结构及其制备方法,解决氧化钛等大多数金属氧 化物对氧气的惰性表现。采用
电化学阳极氧化法得到n型半导体氧化钛纳米管阵 列,其结构和物理特征是:无定形结构,长度1.0-20.0微米;外径40-200纳米; 载流子浓度范围1.0×1018-1.0×1020cm-3;可测氧气浓度区间200ppm-20.0vol.%; 工作温度范围50-250℃;灵敏度范围0.1-1000。本发明无定型氧化钛纳米管阵列 是种低温电阻控制型氧气传感器材料,具有灵敏度高、电阻随浓度变化线性关 系好、探测浓度范围广、容易制备形成器件特点,具有重要应用价值。
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