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用于获取超高真空的真空系统及方法

1161   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明涉及超高真空系统，具体是一种用于获取超高真空的真空系统及方法。本发明解决了现有超高真空系统真空度不够高的问题。用于获取超高真空的真空系统，包括真空腔、钛升华泵、角阀、涡轮分子泵、离子规、充气阀、氮气源、溅射离子泵、三通管；其中，真空腔为圆筒形结构；真空腔的顶壁中央开设有一个抽真空接口，该抽真空接口与钛升华泵连通；真空腔的侧壁上部开设有一个抽真空接口，该抽真空接口通过角阀与涡轮分子泵连通；真空腔的侧壁上部还开设有一个测量接口，该测量接口与离子规连通；真空腔的侧壁中部开设有一个充气接口，该充气接口通过充气阀与氮气源连通。本发明适用于各种对真空度有较高要求的物理、化学实验。
声明：
“用于获取超高真空的真空系统及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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