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基于微机电系统的垂直探针及其制作方法

987   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明公开了一种基于微机电系统的垂直探针及其制作方法，垂直探针包括探针主体，所述探针主体包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部、第二端部之间，分别与第一端部、第二端部相连的弹性连接部，所述第一端部、第二端部、弹性连接部为一体结构，所述弹性连接部与所述第二端部形成连续的半圆弧状结构，所述探针主体采用光化学蚀刻制作而成。本发明的垂直探针的尺寸误差较小，产品的一致性较好，从而避免了在测试过程中由于尺寸误差导致的测试误差。
声明：
“基于微机电系统的垂直探针及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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