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金属层膜厚堆叠模型校准的方法及系统

1056   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明公开了一种金属层膜厚堆叠模型校准的方法及系统，该方法基于准确的金属层化学机械研磨模型，在模型预测能力范围内，通过改变模型输入参数预测不同的DOE晶圆金属层厚度，输出所需的监控区域的厚度，并将其用于光谱校准过程，通过本发明，不仅缩短了校准的时间，而且提高了膜厚堆叠模型的准确性。
声明：
“金属层膜厚堆叠模型校准的方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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