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基于MEMS的量热计及其制造和使用

924   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
提供了基于MEMS的量热计，该量热计包括在聚合层上形成的薄膜基板中支撑的两个微腔室。该薄膜基板包括配置为测量这两个微腔室之间的温度差的热电传感器，并且也包括热稳定和高强度的聚合物膜片。也提供了用于制造该基于MEMS的量热计的方法，以及利用该量热计来测量诸如生物分子的材料的热性质，或者化学反应或物理相互作用的热力学性质的方法。
声明：
“基于MEMS的量热计及其制造和使用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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