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静电叠层式兰姆波微型传感器

866   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明用于压力、加速度测量,可以应用于生物、化学、环境等许多领域中,涉及对液体或气体蒸汽等微质量变化的测量,尤其是涉及一种对兰姆波微传感器的改进。它包括衬底、薄膜,金属层、凸台、接收窗口、叉指电极、齿状支撑、衬底,本发明采用常规的体硅工艺,不需特殊工艺便可制造;由于采用薄膜、金属层、凸台、齿状支撑和叉指电极的结构,提供了一种体积小、重量轻、成本低、质量稳定、寿命长的叠层式静电驱动兰姆波微型传感器。
声明：
“静电叠层式兰姆波微型传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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