合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 静电叠层式兰姆波微型传感器

静电叠层式兰姆波微型传感器

805   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明用于压力、加速度测量,可以应用于生物、化学、环境等许多领域中,涉及对液体或气体蒸汽等微质量变化的测量,尤其是涉及一种对兰姆波微传感器的改进。它包括衬底、薄膜,金属层、凸台、接收窗口、叉指电极、齿状支撑、衬底,本发明采用常规的体硅工艺,不需特殊工艺便可制造;由于采用薄膜、金属层、凸台、齿状支撑和叉指电极的结构,提供了一种体积小、重量轻、成本低、质量稳定、寿命长的叠层式静电驱动兰姆波微型传感器。
声明:
“静电叠层式兰姆波微型传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记