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薄膜热电堆型热流传感器

892   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:36
本发明公开了一种薄膜热电堆型热流传感器，铜薄膜层与康铜薄膜层搭接形成热电堆的节点，节点的一侧设置有二氧化硅热阻层，铜薄膜层与康铜薄膜层通过侧壁延伸至棒底端并引出，铜薄膜层康铜薄膜层通过磁控溅射制备并掩模形成热电堆阵列，二氧化硅热阻层通过溶胶凝胶法在圆柱形棒前端面进行制备，能够实现变温流场环境下的瞬时热流测量，制备封装方法简单，便于安装使用，且成本较低，可应用于液压系统、化学反应釜等多场景测热流。
声明：
“薄膜热电堆型热流传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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