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微加工超声换能器器件的自适应腔体厚度控制

859   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:56:35
一种形成超声换能器器件的方法包括：在衬底上形成膜堆并将该膜堆图案化，该膜堆包括金属电极层和形成在金属电极层上的化学机械抛光(CMP)停止层；在该图案化的膜堆上形成绝缘层；将该绝缘层平坦化到该CMP停止层；测量该CMP停止层的剩余厚度；以及在该图案化的膜堆上形成隔膜支撑层，其中，该隔膜支撑层形成的厚度取决于该CMP停止层的测得的剩余厚度，使得该CMP停止层和该隔膜支撑层的组合厚度对应于期望的换能器腔体深度。
声明：
“微加工超声换能器器件的自适应腔体厚度控制” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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